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磁控溅射镀金系列丨新品速递

作者:光越科技(深圳)有限公司 浏览: 发表时间:2021-11-05 17:30:03


磁控溅射镀膜机镀膜原理为磁控溅射,相对化学镀膜方式,其优点为膜层附着力更强,焊接后拉力测试大于10N;均匀性更好;化学镀膜在45倍显微镜下可看到明显的针孔、凸起,而磁控溅射没有针孔和凸起。

磁控溅射镀膜方式因生产产品过程中始终保持真空,因此无二次污染。下图为设备实物图。


(磁控溅射镀膜机)

 

 

 

 

 

镀膜方式对比

镀膜方式对比


磁控溅射镀膜

化学镀膜

针孔

球颗粒

膜层均匀性

±10%

±20%

 

l  针孔的存在会导致焊接形成空炮、虚焊,其主要影响产品的气密性。

l  球颗粒的存在会导致与金属管的装配误差增加,从而影响调试的效率。

l  均匀性指膜层厚度的一致性,均匀差会导致产品不同区域在不同温度的应力变化大,其性能好坏直接影响到消光比的稳定性。

 

除了以上优点,磁控溅射镀膜机单纯镀金产能为4+/月,并且镀膜种类多,含盖所有金属,典型镀层有CrTiNiAu。也可以进行混合镀膜,比如NiAu混合、TiAuCr混合。

 

磁控溅射镀膜机的优势明显,一直以高功率及保偏器件为产品生产研发导向的光越科技(深圳)有限公司近期引进磁控溅射镀膜机并且经过研发人员的不断验证,完成高精度研磨机项目,磁控溅射镀金系列产品也正式投入生产,产品系列如下:

01镀金高反玻璃

优势:

l  金属薄膜质量优 ,耐腐蚀性强;

l  镀金薄膜均匀性致密,膜层光滑密实,显微镜下观察无针孔;

l  高牢固度附着力(优于蒸发机),与基片结合度高,镀膜控制精准;

l  镀膜有效面积:50X50mm   ,金靶纯度99.99%

 

测试数据如下:

(空气入射5°反射率曲线,测试波段中远红外2000-25000nm

(空气入射5°金反射率测试曲线,测试波段400-2500nm

 

(空气入射45°光谱曲线,测量波段400-2500nm

+保护膜(400-20000nm

(金+保护膜2000-20000nm

 

 

 

02金属化蓝宝石窗口片

金属化蓝宝石窗口片是使用铬、镍、金镀于蓝宝石窗口片边缘制作而成的新型窗口片,金属膜边缘可直接焊接或连接到光学机械装配上,达到密封效果。

应用:光通讯、激光窗口、红外成像系统、医疗设备等。

优势:

符合MIL-STD-883可焊性标准;

金属化材料可定制:CrTiNiAu等。

 

03红外光学窗口

优势:根据客户定制镀金处理Si基片,Ge基片;

      1~6.8μm透过率小,同时7.5~14μm的透过率高;

      可镀制金属化薄膜用于焊接。

应用:非制冷红外探测器

 

 

04金属化带纤、金属化光纤

将光纤或其他波导材料实现镀金金属化,从而实现光器件全金属化气密封装。

斜面、微透镜、楔形光纤所用的透镜光纤研磨机设备为完全自主研发,可依据产品结构不同而进行修改。可生产多种要求的光纤。

使用该设备加工出的光纤精度高,角度误差在1°内,尺寸误差控制在1微米内,端面质量好,在400倍端检仪下观察无可见划痕、麻点。

应用:干线高速通信、海底通信、军事国防、航空航天、光纤通讯、光纤传感

优势:附着力好;

焊接性良好,可承受280℃焊料30秒焊接;

镀金层厚度≥0.1μm

抗拉强度高(热阻焊工艺拉力达到10N);

代替高分子材料链接方案,解决容易老化、蠕变、不耐高温等问题。

 

金属化带纤           金属化光纤(从左到右依次为楔形、单斜面、锥形、多斜面)

 

 

 

 

透镜光纤性能对比

参数

光越

市面出售产品

锥角误差

±2.5°

±5°

角度误差

±2.5°

±5°

曲率误差

±1um

±1um

偏心量

±1um

±1.5um

镀层拉力

15N

10N

镀金光纤性能对比

性能

光越

市面出售产品

镀层拉力

15N

10N

膜层厚度

300nm

100~1000nm

单炉装载量

672/

350/

单炉时间

2H/

5H/

 

备注:

l  锥角误差主要是指微透镜光纤的圆锥夹角,对于单模,其精度越高,加工曲率的良率就越高。对于多模光纤,锥度的精度越高其耦合效率一致性更好。

l  角度误差主要是指楔形透镜光纤的夹角,对于其精度越高,加工的曲率的良率就越高。对于多模光纤,锥度的精度越高其耦合效率一致性更好。

l  曲率精度越高,耦合效率越高。

l  偏心量越小,透镜光纤的光轴与光纤包层轴线的夹角越小,从而方便耦合调试,提高生产效率。

l  大拉力可以降低产品使用不当导致的坏损率,对使用环境适应性更强。

 

光越科技磁控溅射镀金系列产品经过研发人员反复验证,据光越科技称,对其系列产品抱有很大信心。行业的快速发展,产品迭代的速度也越来越快,而光越科技也将保持初心,主攻高功率及保偏器件市场,探索市场动向,为客户提供更符合市场需求的产品。

 


磁控溅射镀金系列丨新品速递
磁控溅射镀膜机镀膜原理为磁控溅射,相对化学镀膜方式,其优点为膜层附着力更强,焊接后拉力测试大于10N;均匀性更好;化学镀膜在60倍显微镜下可看到明显的针孔、凸起,而磁控溅射没有针孔和凸起。
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